适用于各种真空设备,特别是超高真空中的样品的安装以及位置控制,可自由伸缩及摆动。
机械手AMW系列 | ![]() |
| 型 号 | Z轴移动距离(mm) | A连接法兰 | 移动轴径(mm) | 重量(kg) |
| AMW-275/100 | 100(用户指定) | ICF70-FH | φ6 (g6) | 0.8 |
| 真空漏率 | ≤1.33×10-11Pa/m3/sec | |||
| 真空密封 | 焊接波纹管 | |||
| 驱动方式 | 磁耦合动力 | |||
| 烘烤温度 | ≤200℃ | |||
| 直进能力 | 20N | |||
| 旋转力矩 | 0.4Nm | |||
适用于各种真空设备,特别是超高真空中的样品的安装以及位置控制,可自由伸缩及摆动。
机械手AMWS系列 | ![]() |
| 型 号 | Z轴移动距离(mm) | A连接法兰 | 移动轴径(mm) | 重量(kg) |
| AMWS-275/150 | 150(用户指定) | ICF70-FH | φ6 (g6) φ3 (g6) | 1.9 |
| 真空漏率 | ≤1.33×10-11Pa/m3/sec | |||
| 真空密封 | 焊接波纹管 | |||
| 驱动方式 | 磁耦合动力 | |||
| 烘烤温度 | ≤200℃ | |||
| 直进能力 | 20N | |||
| 旋转力矩 | 0.2Nm | |||