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旋转导入器 (Rotary Motion Feedthrough) ARM系列

适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的精确旋转控制。

超高真空旋转导入装置(图1)

旋转导入器ARM系列


特点

  • 超高真空环境对应
  • 磁耦合动力传递
  • 采用干润滑型轴承
  • 旋转角度任意
超高真空旋转导入装置(图2)

规格

型 号 A连接法兰 移动轴径(mm) C(mm) D(mm) E(mm) 旋转力矩(Nm) 重量(kg)
ARM-133 ICF34-FH φ6 (g6) 101.5 50 φ40 0.1 0.3
ARMH-133 0.4
ARM-275 ICF70-FH φ8 (g6) 151 φ65 1.7 2.4
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
驱动方式 磁耦合动力
烘烤温度 ≤200℃



中空型旋转导入器 (Rotary Motion Feedthrough) ARMW系列


适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的精确旋转控制。

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中空型旋转导入器ARMW系列 		1-2110312216113I.jpeg

特点：

  • 超高真空对应
  • 磁耦合动力传递
  • 中空型设计可对应多轴导入
  • 可指定旋转中空轴的尺寸和形状
  • 电机驱动对应
  • 旋转力矩：1.7Nm
  • 分辨率：0.1°（手动选项使用时）


规格

型 号 A连接法兰
B移动法兰 		C(mm) 旋转力矩(Nm) 重量(kg)
ARMW-275/133 ICF70-FH
ICF34-FT 		用户指定长度 1.7 2.3
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
驱动方式 磁耦合动力
烘烤温度 ≤200℃

照片付手动把手



蜗轮驱动旋转导入器 (Worm Gear Rotary Motion Feedthrough) AWG系列


适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的精确旋转控制。

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蜗轮驱动旋转导入器AWG系列 		1-211031221K3561.jpeg

特点：

  • 超高真空对应
  • 蜗杆/齿轮驱动
  • 中空型设计可对应多轴导入
  • 可指定旋转轴的尺寸和形状


规格：

型 号 A连接法兰
B移动法兰 		C(mm) 减速比 重量(kg)
AWG-275 ICF70-FH
ICF34-FT 		用户指定 1/30 3.6
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
驱动方式 磁耦合动力
烘烤温度 ≤200℃